高純度硼酸在半導體領域的應用升級,核心是純度突破與功能拓展雙驅動,成為半導體制造的關鍵材料。
一、應用升級核心方向
純度標準再升級,適配先進制程。半導體級硼酸純度已從99.99%(4N)提升至99.9995%(5N5)以上,單項金屬雜質含量控制在0.01ppm以內,滿足12英寸晶圓制造需求。
功能場景持續拓展,覆蓋多核心工藝。不僅作為摻雜劑調節半導體導電性能、提高電子遷移率,還用于晶圓清洗去除表面污染物,同時在立方氮化硼(cBN)加工材料制備中發揮關鍵作用。
配套性能同步優化,契合低碳與需求。通過工藝改良降低產品雜質對半導體器件的影響,助力提升芯片穩定性,同時適配半導體產業綠色制造趨勢。
二、升級背后的關鍵支撐
技術突破打破瓶頸。離子交換樹脂法、膜分離提純等技術的應用,使高純度硼酸量產能力提升,國產自給率已達43%,逐步替代日本進口產品。
市場需求拉動。半導體產業對高*材料的需求年均增速達20%,12英寸晶圓每萬片消耗硼酸1.8-2.2噸,推動應用技術持續迭代。
政策導向準確賦能。工信部將高純硼酸納入關鍵戰略材料目錄,專項基金支持提純技術攻關,加速應用升級進程。